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我公司与青岛华旗科技有限公司签约微电子设备制造车间净化工程

2014-6-18 19:51:38

我公司与青岛华旗科技有限公司签约微电子设备制造车间净化工程

青岛华旗科技有限公司(青岛精诚华旗微电子设备有限公司,建于1993年)位于青岛空港工业园,占地约15000 平方米,建筑面积约21000平方米。 华旗科技为专业的半导体材料、IC器件工艺、新材料工艺(成套)设备及解决方案的高科技研发制造企业。服务于新能源、新材料及环境保护产业。致力于为IC器件、太阳能电池、LED照明、新材料等制造厂家及科研院所提供先进的工艺设备。工艺设备包括薄膜、外延、晶体生长、精密真空热处理系统及废气处理等。 核心工艺设备为薄膜工艺:LPCVD、PECVD、氧化扩散系统等。外延:MOCVD(研发型)等。晶体生长:VGF/VB、 HGF/HB等、HVPE、PVT等。精密真空热处理:单室、双室(多室)真空炉、RTP、传统.

 

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